本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備的紅外輻射測溫校準(zhǔn)裝置及其校準(zhǔn)方法,校準(zhǔn)裝置的可以透光的光學(xué)檢測孔設(shè)置在噴淋盤中,紅外輻射溫度測試儀與設(shè)置在噴淋盤中的光學(xué)檢測孔對應(yīng)設(shè)置,光纖或光線束通過黑體爐端夾具和檢測孔端夾具固定并連接在黑體爐和光學(xué)檢測孔之間。通過光纖或光纖束將黑體爐的紅外輻射引入金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的噴淋盤的光學(xué)檢測口,對噴淋盤上方的紅外輻射測溫儀進(jìn)行在線標(biāo)定校準(zhǔn)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,可消除由于紅外輻射測溫儀系統(tǒng)本身的系統(tǒng)誤差、裝配因素導(dǎo)致的溫度差異,使各個紅外輻射測溫儀測試的相對溫度更為準(zhǔn)確,以便載片盤表面的溫度均勻性調(diào)節(jié)。解決了金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的溫度校準(zhǔn)難題。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積設(shè)備的紅外輻射測溫校準(zhǔn)裝置及其校準(zhǔn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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