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基板污染物分析裝置及基板污染物分析方法

907 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:47:31

本發(fā)明的基板污染物分析裝置，作為將從分析對象基板利用掃描噴嘴掃描的樣品溶液通過流路從所述掃描噴嘴移送到分析器的基板污染物分析裝置，其特征在于，包括：樣品管，具有裝載所述樣品溶液的空間；轉換閥，與所述樣品管結合，至少具有將所述樣品溶液裝載到所述樣品管的裝載部位和將所述裝載的所述樣品溶液噴射到所述分析器處的噴射部位，所述樣品溶液裝載到所述樣品管時所述樣品溶液的前后包括氣體區(qū)間，還包括：傳感器，設置在所述樣品管且區(qū)分感測所述氣體區(qū)間與所述樣品溶液。

聲明：

“基板污染物分析裝置及基板污染物分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)