本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備中實(shí)時(shí)測(cè)量襯底翹曲的方法及裝置。該測(cè)量方法包含以下步驟:用分波前的方法將一束激光分成幾個(gè)相干光源照射襯底表面,用圖像傳感器測(cè)量襯底反射的衍射干涉圖樣形狀,對(duì)比有翹曲和無翹曲時(shí)的衍射干涉圖樣形狀計(jì)算襯底翹曲。使用該方法的測(cè)量裝置由光源、圖案擋光板、能量分光鏡、承載盤、圖像傳感器、信號(hào)處理單元組成。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)緊湊簡(jiǎn)單,能夠?qū)崟r(shí)快速檢測(cè)外延片的局部翹曲,能夠避免承載盤傾斜或者抖動(dòng)造成的影響,測(cè)量精度高。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積設(shè)備中實(shí)時(shí)測(cè)量襯底翹曲的方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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