本發(fā)明公開(kāi)了一種具有時(shí)間和空間分辨的電化學(xué)勢(shì)測(cè)量裝置及方法，屬于電化學(xué)勢(shì)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，能夠?qū)?dǎo)體或半導(dǎo)體材料表面的電化學(xué)勢(shì)進(jìn)行測(cè)量，具有時(shí)間分辨和空間分辨的能力。所述裝置包括電化學(xué)池、探測(cè)單元、控制單元、壓差放大單元和參考電極；電化學(xué)池中容置有電解質(zhì)溶液；探測(cè)單元用于探測(cè)待測(cè)樣品表面的形貌信息；壓差放大單元包括第一輸入端和第二輸入端和輸出端；第一輸入端與探測(cè)單元的輸出端連接，第二輸入端與參考電極連接，壓差放大單元的輸出端與控制單元連接；控制單元與參考電極、待測(cè)樣品均連接，用于向參考電極和待測(cè)樣品提供脈沖信號(hào)，并接收壓差放大單元輸出的待測(cè)樣品的電勢(shì)信息。本發(fā)明用于電化學(xué)勢(shì)測(cè)量。