本發(fā)明提供了一種膜厚測量方法和化學(xué)機械拋光設(shè)備，其中，方法包括：線下測試步驟，在該步驟中獲取在不同提離高度下、不同膜厚對應(yīng)的膜厚傳感器的輸出信號值，擬合得到用于表征輸出信號值、提離高度和膜厚之間函數(shù)關(guān)系的靜態(tài)方程，其中，提離高度為膜厚傳感器距晶圓的距離；線上測試步驟，在該步驟中獲取拋光墊厚度以及在化學(xué)機械拋光設(shè)備上進行拋光時膜厚傳感器的輸出信號值，利用靜態(tài)方程計算得到晶圓的計算膜厚，根據(jù)計算膜厚與晶圓的實際膜厚之間的偏差，得到用于修正靜態(tài)方程的動態(tài)方程；實際測量步驟，在該步驟中根據(jù)靜態(tài)方程和動態(tài)方程，基于當(dāng)前工況下的拋光墊厚度，將膜厚傳感器在線測量時的輸出信號值轉(zhuǎn)換為最終的膜厚。