描述了一種用來探測薄膜清除工藝的終點(diǎn)的方法和裝置,其中用具有連接到軸的拋光表面的拋光裝置來清除薄膜。探測了由拋光表面上的摩擦力引起的扭矩導(dǎo)致的軸的變形。用安裝在軸上的傳感器,或借助于監(jiān)測從軸上二個點(diǎn)反射的光信號之間的相位差,來執(zhí)行此探測。根據(jù)軸的變形而產(chǎn)生信號。信號的變化表明扭矩的變化,從而表明薄膜清除工藝的終點(diǎn)。此裝置允許實(shí)時原位監(jiān)測和控制薄膜清除工藝。
聲明:
“測量軸的變形對化學(xué)機(jī)械拋光工藝進(jìn)行實(shí)時控制” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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