一種用于預(yù)測半導(dǎo)體處理設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)機(jī)械組件的不規(guī)律運(yùn)動(dòng)的系統(tǒng)及方法。一種機(jī)械運(yùn)動(dòng)不規(guī)律性預(yù)測系統(tǒng)包括一個(gè)或多個(gè)運(yùn)動(dòng)傳感器，所述一個(gè)或多個(gè)運(yùn)動(dòng)傳感器感測與半導(dǎo)體處理設(shè)備的至少一個(gè)機(jī)械組件相關(guān)聯(lián)的運(yùn)動(dòng)相關(guān)參數(shù)。所述一個(gè)或多個(gè)運(yùn)動(dòng)傳感器基于所感測到的運(yùn)動(dòng)相關(guān)參數(shù)輸出感測信號。缺陷預(yù)測電路系統(tǒng)基于感測信號預(yù)測所述至少一個(gè)機(jī)械組件的不規(guī)律運(yùn)動(dòng)。