本發(fā)明提供一種材料非平面表面原位統(tǒng)計(jì)分布分析方法,可以實(shí)現(xiàn)非平面表面大尺度(cm2)范圍內(nèi)的化學(xué)成分及其狀態(tài)的原位統(tǒng)計(jì)分布分析。針對(duì)非平面材料表面,采用激光光源對(duì)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的樣品表面實(shí)施連續(xù)的激發(fā),實(shí)現(xiàn)精確位置空間坐標(biāo)與所采集到的各相關(guān)成分光譜或質(zhì)譜的高速、實(shí)時(shí)檢測(cè)信號(hào)的同步定位;采用材料非平面表面(俯視)投影含量等高圖及三維形貌含量等高圖兩種方式表征非平面材料任何位置空間坐標(biāo)與各化學(xué)成分含量的對(duì)應(yīng)分布;以各位置的信息為基礎(chǔ)建立含量-頻度分布曲線,獲得最大偏析與最小偏析的準(zhǔn)確空間定位與定量、中位值的統(tǒng)計(jì)判定、表觀致密度的統(tǒng)計(jì)解析、以及統(tǒng)計(jì)偏析度、統(tǒng)計(jì)符合度等表征非平面材料性能的新信息。