一種激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜原位統(tǒng)計分布分析系統(tǒng),屬于材料分析表征技術領域。包括激光燒蝕進樣系統(tǒng)、ICP離子源系統(tǒng)、接口系統(tǒng)、離子傳輸系統(tǒng)、質(zhì)譜檢測系統(tǒng)、連續(xù)激發(fā)同步掃描的樣品移動/定位系統(tǒng)和對采集到的質(zhì)譜信號進行數(shù)學解析的信號處理系統(tǒng)?;跇悠返倪B續(xù)激發(fā)同步掃描移動/定位和激光燒蝕ICP-MS的、可以實現(xiàn)金屬或非金屬材料非平整表面大尺度范圍內(nèi)化學成分及其狀態(tài)的原位統(tǒng)計分布分析。優(yōu)點在于,既可以用于金屬樣品,又適用于非金屬樣品;可分析低至0.1μg/g元素的含量和分布;比金屬原位分析儀的靈敏度提高3個數(shù)量級;既適用于表面規(guī)則平整的樣品,也適用于不規(guī)則或異型面樣品。
聲明:
“激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜原位統(tǒng)計分布分析系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)