本發(fā)明提供的多元素的化學(xué)蒸氣發(fā)生裝置及其發(fā)生方法。該化學(xué)蒸氣發(fā)生裝置，包括吸液部、儲(chǔ)液部、至少一個(gè)吸液泵、推液泵部、還原劑泵部、氣液分離部、載氣部和混合氣體輸出接口，吸液部、儲(chǔ)液部、推液泵部、還原劑泵部、氣液分離部、載氣部各具有多個(gè)通道，各個(gè)部分具有的通道數(shù)量相同且各自的通道一一對(duì)應(yīng)地連通，通道數(shù)量與需進(jìn)行化學(xué)蒸氣發(fā)生的元素的種類(lèi)數(shù)量相同。本發(fā)明保證了在多種元素同時(shí)檢測(cè)時(shí)，對(duì)于每種元素檢測(cè)的準(zhǔn)確性和可靠性，而且縮短了分析時(shí)間、減少了分析成本，提高了分析效率。