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拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用

674   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:57:45
本發(fā)明公開了一種拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用,屬于化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域。系統(tǒng)包括化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)和拉曼光譜儀,所述化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)包括高溫爐,所述高溫爐中的爐腔內(nèi)設(shè)有穿過高溫爐的三通爐管,所述三通爐管設(shè)有上方開口,上方開口的正下方設(shè)置有載樣臺,所述三通爐管的上方開口密封連接光學(xué)鏡片;所述拉曼光譜儀的探頭垂直對準(zhǔn)三通爐管中置于載樣臺上的基底。本發(fā)明通過設(shè)置三通爐管的上方開口為透射窗口,以供光信號通過,使拉曼光譜儀實(shí)時(shí)監(jiān)控化學(xué)氣相沉積進(jìn)程,進(jìn)而通過分析拉曼光譜數(shù)據(jù)對樣品制備的生長參數(shù)進(jìn)行調(diào)控,制備樣品過程更加靈活可控,有效提高了樣品生長的效率。
聲明:
“拉曼光譜儀監(jiān)控反饋式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)及應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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