本發(fā)明提供了一種多層化學(xué)機(jī)械拋光墊,其包括:拋光層,所述拋光層具有拋光表面、擴(kuò)孔開口、與拋光表面平行的拋光層界面區(qū)域;多孔子墊層,該子墊層具有底表面以及平行于底表面的多孔子墊層界面區(qū)域;以及廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體;其中所述拋光層界面區(qū)域和多孔子墊層界面區(qū)域形成共延伸區(qū)域;其中,所述多層化學(xué)機(jī)械拋光墊具有從所述拋光表面延伸至所述多孔子墊層的底表面的貫穿開口;其中,所述擴(kuò)孔開口開在所述拋光表面上,使所述貫穿開口擴(kuò)大并形成階狀部分;并且所述廣譜終點(diǎn)檢測(cè)窗口塊體設(shè)置在所述擴(kuò)孔開口內(nèi)。
聲明:
“多層化學(xué)機(jī)械拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)