本申請?zhí)峁┯糜诖_定臨近催化化學(xué)氣相沉積中催化劑的熱變形的裝置及方法，所述裝置包括：在豎直方向上設(shè)置的上下加熱器；用于控制它們升降的電機；設(shè)置在下加熱器表面上的用于安放基底的樣品臺；在樣品臺和上加熱器之間的水平導(dǎo)軌；在水平導(dǎo)軌上的用于安放催化劑的載板，所述載板和樣品臺之間是用于臨近催化化學(xué)氣相沉積的反應(yīng)區(qū)；設(shè)置在樣品臺與載板之間的光柵尺；用于檢測催化劑是否與基底接觸的短路檢測裝置和用于控制樣品臺升降的控制裝置，其中上下加熱器用于對反應(yīng)區(qū)提供適合二維材料生長的溫度。通過利用本發(fā)明的裝置和方法，可以確定和判斷催化劑在不同溫度下隨時間的熱形變量，解決催化劑在高溫下的形變對生長所導(dǎo)致的問題。