亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 化學分析技術

> 基于多重自由網格的化學機械研磨工藝缺陷處理方法

基于多重自由網格的化學機械研磨工藝缺陷處理方法

911   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網  
2023-03-19 06:58:59
本公開提供了一種基于多重自由網格的化學機械研磨工藝缺陷處理方法，包括：步驟A.版圖讀入；步驟B.CMP模擬，初步確定CMP局部缺陷產生條件；步驟C.根據步驟B進行CMP敏感區(qū)域的提取，并將多邊形敏感區(qū)域分割；步驟D.在步驟C的矩形集的一個矩形敏感區(qū)域外，建立一級網格；步驟E.在步驟C的矩形集的一個矩形敏感區(qū)域和步驟D建立的一級網格間，建立二級網格；步驟F.等效參數提取。本公開能夠準確地檢測并處理CMP工藝中的局部不平坦性問題，能夠更加準確的檢測CMP工藝中的局部缺陷問題，并對檢測到的缺陷進行處理，有效規(guī)避芯片表面的局部區(qū)域的缺陷。
聲明：
“基于多重自由網格的化學機械研磨工藝缺陷處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇礦山技術 徐州礦山技術 江蘇選礦技術 江蘇通用技術 徐州通用技術 北京礦山技術 北京采礦技術 北京通用技術 福建礦山技術 福建通用技術 江蘇冶金技術 江蘇火法冶金技術 北京冶金技術 北京火法冶金技術 北京濕法冶金技術 福建冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環(huán)境保護技術 南京環(huán)境保護技術 蘇州環(huán)境保護技術 南通環(huán)境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環(huán)境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關注官方微信
中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記