本實(shí)用新型屬于化工工藝生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，公開了一種化學(xué)沉積爐加熱系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)包括設(shè)置在爐體的上層內(nèi)周與沉積室之間的上加熱器層、設(shè)置在爐體的下層內(nèi)周與坩堝之間的下加熱器層、控制上加熱器層和下加熱器層的PLC系統(tǒng)，上加熱器層包括上獨(dú)立加熱器，每個上獨(dú)立加熱器與沉積室一一相對設(shè)置，下加熱器層包括下獨(dú)立加熱器，每個下獨(dú)立加熱器與坩堝一一相對設(shè)置，每個沉積室和坩堝旁邊均設(shè)有熱電偶組件；每個上獨(dú)立加熱器和下獨(dú)立加熱器均對應(yīng)連接有一個變壓器，熱電偶組件和變壓器均連接PLC系統(tǒng)。本實(shí)用新型解決了硒化鋅生產(chǎn)過程中化學(xué)沉積爐無法進(jìn)行獨(dú)立區(qū)域控溫的問題，在化學(xué)沉積爐內(nèi)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)獨(dú)立檢測溫度和控制溫度精準(zhǔn)升降。