亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 化學(xué)機械研磨的方法及研磨系統(tǒng)

化學(xué)機械研磨的方法及研磨系統(tǒng)

689   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:59:02
本發(fā)明提供了一種化學(xué)機械研磨的方法包括:提供一具有多個研磨區(qū)域的研磨頭,研磨區(qū)域施加的壓力能夠被獨立控制;利用所述研磨頭對一薄膜進行研磨,研磨過程中實時檢測所述薄膜的厚度分布,依據(jù)薄膜的厚度分布實時調(diào)節(jié)各個研磨區(qū)域施加的壓力。研磨區(qū)域施加的壓力作用在晶圓的背面,通過實時檢測晶圓表面薄膜厚度的分布情況,依據(jù)薄膜厚度分布實時調(diào)節(jié)研磨頭各個研磨區(qū)域施加在晶圓背面的壓力。使得研磨過程中促進薄膜各個區(qū)域上厚度相對一致,以改善研磨的平整度。相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種研磨系統(tǒng)。
聲明:
“化學(xué)機械研磨的方法及研磨系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記