本發(fā)明提供了一種防雷器球形部件激光化學(xué)氣相沉積陶瓷層流水線及生產(chǎn)工藝,所述流水線包括控制器和工作室,工作室的外側(cè)位于進(jìn)料口處設(shè)有單層進(jìn)料裝置,工作室內(nèi)均勻設(shè)有多個(gè)相互平行的逆向輸送輥,各逆向輸送輥上自進(jìn)料口向出料口形成有S形輸送軌道,工作室的頂部沿逆向輸送輥的輸送方向設(shè)置有多個(gè)激光器,各激光器的焦點(diǎn)位置處設(shè)置可放置硅基片或鋁基片的靶材座,工作室的底部設(shè)置有氧氣入口,工作室的出料口端連通有空氣過濾裝置,工作室中位于出料口處設(shè)置有不良品檢測(cè)裝置。在該流水線上采用該生產(chǎn)工藝處理后的球形部件的表面可形成致密不導(dǎo)電的陶瓷膜,實(shí)現(xiàn)球形部件表面絕緣層的一次制備、質(zhì)量的自動(dòng)檢測(cè)及良廢產(chǎn)品的自動(dòng)分類。
聲明:
“防雷器球形部件激光化學(xué)氣相沉積陶瓷層流水線及生產(chǎn)工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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