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常壓化學氣相淀積設(shè)備的履帶軌跡自動調(diào)整裝置

1034   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:00:44
本實用新型涉及一種常壓化學氣相淀積設(shè)備的履帶軌跡自動調(diào)整裝置,設(shè)置在工藝腔室出口位置的履帶下方,所述的履帶軌跡自動調(diào)整裝置包括對稱設(shè)置在履帶兩側(cè)的步進電機,以及設(shè)置在履帶下方的調(diào)整軸,所述調(diào)整軸下方設(shè)有傳感器;所訴履帶軌跡自動調(diào)整裝置還包括有控制器,所述控制器分別與步進電機和傳感器電氣連接,由此構(gòu)成履帶自動調(diào)整裝置。本裝置在出口位置對履帶位置進行檢測,如傳感器檢測到履帶偏離則反饋給控制器,控制器通過調(diào)整器對履帶位置調(diào)整,直到位置正常。
聲明:
“常壓化學氣相淀積設(shè)備的履帶軌跡自動調(diào)整裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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