本實用新型涉及一種常壓化學氣相淀積設(shè)備的履帶軌跡自動調(diào)整裝置,設(shè)置在工藝腔室出口位置的履帶下方,所述的履帶軌跡自動調(diào)整裝置包括對稱設(shè)置在履帶兩側(cè)的步進電機,以及設(shè)置在履帶下方的調(diào)整軸,所述調(diào)整軸下方設(shè)有傳感器;所訴履帶軌跡自動調(diào)整裝置還包括有控制器,所述控制器分別與步進電機和傳感器電氣連接,由此構(gòu)成履帶自動調(diào)整裝置。本裝置在出口位置對履帶位置進行檢測,如傳感器檢測到履帶偏離則反饋給控制器,控制器通過調(diào)整器對履帶位置調(diào)整,直到位置正常。
聲明:
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