本發(fā)明公開一種化學(xué)溶液沉積法制備Sm2O3薄膜的方法,包括:將分析純的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶劑中,配制成Sm3+濃度為0.1~0.5mol/L的溶液;待溶解完全后,向其中加入醋酸酐溶劑,室溫下攪拌均勻形成透明均勻穩(wěn)定的淡黃色溶液;滴加適量配制好的前驅(qū)液于基板表面,并打開勻膠機(jī)以旋涂鍍膜至均勻;將勻膠后得到的濕膜放在烤膠板上烘干后放入小型快速退火爐內(nèi)于200~500℃進(jìn)行退火;退火完成后隨爐冷卻至室溫,再重復(fù)旋涂退火工藝,直至Sm2O3薄膜達(dá)到所需厚度。該反應(yīng)的原料易得且成本低,工藝設(shè)備簡(jiǎn)單,溶膠粒徑均勻,能耗低,且該反應(yīng)在常溫常壓下進(jìn)行,安全性好,可行性強(qiáng)。
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