本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓化學(xué)機(jī)械平坦化設(shè)備中的拋光墊修整器，主要由機(jī)架、電機(jī)、減速器、氣囊、同步帶和帶輪、擺動(dòng)臂、支撐軸、支撐底板、球頭萬(wàn)向結(jié)構(gòu)、檢測(cè)傳感器等部件組成。本裝置主要是通過(guò)杠桿機(jī)構(gòu)對(duì)氣囊充氣以帶動(dòng)擺動(dòng)臂抬升、下降及對(duì)拋光臺(tái)施加修整力的。采用皮帶輪傳動(dòng)方式將電機(jī)和減速器遠(yuǎn)離拋光區(qū)域放置，同時(shí)整個(gè)修整器外部安裝有不銹鋼防護(hù)罩以避免內(nèi)部電子元器件的腐蝕。為了解決修整輪與拋光臺(tái)面的接觸問(wèn)題，在修整端設(shè)計(jì)有球頭萬(wàn)向結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的拋光墊修整器可以實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)和控制方式簡(jiǎn)單，無(wú)交叉污染，修整效果好，同時(shí)顯著延長(zhǎng)拋光墊的使用壽命。