微刀具金剛石涂層的化學(xué)氣相沉積裝置及方法,屬于金剛石薄膜化學(xué)氣相沉積制備技術(shù)領(lǐng)域。
真空泵通過(guò)真空針閥與真空反應(yīng)室連通,氫氣瓶、氬氣瓶和甲烷瓶與混合箱連通,進(jìn)氣針閥固定在真空反應(yīng)室爐蓋上,壓力控制裝置與真空反應(yīng)室連通,電極組件固定在真空反應(yīng)室內(nèi),工作臺(tái)設(shè)置在真空反應(yīng)室內(nèi),微刀具固定在工作臺(tái)上,兩根電纜線從加熱電源處引出并與電極組件連接,熱電偶的探頭端部貼有硬質(zhì)合金薄片,紅外測(cè)溫儀通過(guò)其自帶的支架設(shè)置于真空反應(yīng)室外部,冷水機(jī)外接有四根冷水管,其中兩根與真空反應(yīng)室的爐蓋連通,其余兩根與真空反應(yīng)室的爐體連通,真空表安裝在真空反應(yīng)室的爐蓋上。本發(fā)明用于微刀具金剛石涂層的化學(xué)氣相沉積。
聲明:
“微刀具金剛石涂層的化學(xué)氣相沉積裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)