本發(fā)明提供了一種加熱輔助化學機械復(fù)合磨料流拋光裝置及方法,包括液壓系統(tǒng)、溫度測量與反饋控制系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、氧化劑注入系統(tǒng)、氧化劑排出系統(tǒng)、磨料、上磨料缸、下磨料缸、上活塞、下活塞以及夾具;夾具連接上磨料缸、下磨料缸,上磨料缸、下磨料缸內(nèi)分別設(shè)置有上活塞、下活塞,上活塞、下活塞分別連接液壓系統(tǒng)并能夠在液壓系統(tǒng)的作用下往復(fù)運動,磨料設(shè)置在上磨料缸和/或下磨料缸內(nèi);夾具夾持區(qū)域內(nèi)為拋光反應(yīng)區(qū),溫度測量與反饋控制系統(tǒng)能夠控制加熱系統(tǒng)對拋光反應(yīng)區(qū)加熱的溫度;氧化劑注入系統(tǒng)和氧化劑排出系統(tǒng)分別能夠向上下磨料缸注入和排出氧化劑。本發(fā)明采用機械拋光結(jié)合化學拋光再通過加熱輔助的方式,提高了拋光的效率和質(zhì)量。
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