本發(fā)明公開(kāi)了一種用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的加熱裝置,它包括襯底、石墨舟、感應(yīng)圈和托架,特征是石墨舟由扁平圓柱體和圓筒體構(gòu)成,圓筒體加工在扁平圓柱體的底部中央。在圓筒體內(nèi)加工有用于插入測(cè)溫頭的凹槽。本發(fā)明由于在傳統(tǒng)的扁平圓柱體形狀的石墨舟底部中央加工有一圓筒體,當(dāng)感應(yīng)圈通電工作時(shí),石墨舟下部的圓筒體處在場(chǎng)強(qiáng)最高的區(qū)域,會(huì)吸收更多的電磁能而產(chǎn)生更多的熱量,熱量會(huì)向上傳導(dǎo)使石墨舟的中心區(qū)域得到熱量的補(bǔ)充,從而達(dá)到整個(gè)石墨舟上表面的溫度均勻。當(dāng)工作溫度在600℃以上時(shí),本發(fā)明可將襯底溫差控制在2℃以內(nèi)。因此本發(fā)明具有能夠提高石墨舟的溫度均勻性從而進(jìn)一步提高材料生長(zhǎng)的均勻性、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)中的加熱裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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