本發(fā)明涉及氧碘化學(xué)激光器光學(xué)諧振腔調(diào)節(jié)與監(jiān)控系統(tǒng)及方法，包括：主控模塊、算法模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、電機控制模塊、數(shù)字I/O模塊、電機驅(qū)動數(shù)字I/O模塊、通訊模塊、顯示單元和電源模塊；方法包括主控模塊實時采集壓力傳感器的腔內(nèi)壓力數(shù)據(jù)并顯示，判斷采集腔內(nèi)壓力數(shù)據(jù)是否超出光腔內(nèi)壓力允許范圍；算法模塊根據(jù)光腔內(nèi)壓力數(shù)據(jù)發(fā)送指令給數(shù)字IO模塊進而控制電磁閥開關(guān)實現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)；通過顯示單元發(fā)送控制信號給電機控制模塊進而控制腔鏡的X方向和Y方向的電機進行調(diào)節(jié)，并實時監(jiān)測電機運行狀態(tài)。本發(fā)明具有實時性強、穩(wěn)定性高、操作簡單、開發(fā)成本低等優(yōu)點，特別適用于氧碘化學(xué)激光器的光學(xué)諧振腔中。