本實用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積爐用沉積室,屬于炭/炭
復(fù)合材料制造技術(shù)領(lǐng)域,其包括沉積室本體及上蓋板,其特征在于,所述沉積室本體為圓筒狀結(jié)構(gòu);所述上蓋板設(shè)置在所述沉積室本體的頂部,且與所述沉積室本體密閉連接,所述上蓋板上設(shè)有排氣孔;所述沉積室本體的套裝在發(fā)熱體內(nèi),所述沉積室本體設(shè)置在沉積爐底座上。所述沉積室本體采用石墨或炭/炭復(fù)合材料材質(zhì)。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,避免了工作氣體與石墨加熱器的接觸,增加了工作氣體的利用率,同時減少了熱解炭在石墨加熱器上以及引電連接部位上的不斷生長而造成的設(shè)備短路等故障,降低了設(shè)備檢修維護工作量。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積爐用沉積室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)