本實(shí)用新型公開了一種用于化學(xué)濕法單面減薄單晶硅片的模具,包括主體部分,蓋子部分和觀測部分,各部分的要求:(a)主體形狀為正多棱柱形,內(nèi)腔室為圓柱體;棱柱一側(cè)封閉,一側(cè)為凹槽形開口結(jié)構(gòu),凹槽有內(nèi)螺紋;棱柱頂面開口,有相連的兩個邊長不同的正方形;小正方形側(cè)面存在對稱凹槽,用于嵌合觀測部件,大正方形開口為添加溶液位置。(b)蓋子部分為凸臺圓環(huán)形;凸臺外側(cè)車有外螺紋,用于結(jié)合主體部分凹槽螺紋。(c)觀測部件整體大小與主體部分頂部小正方形開口大小一致;側(cè)面對稱凸起用于固定觀測部件;下部開有孔洞形通道用于固定LED燈頭。本實(shí)用新型模具具有操作簡單,可原位觀測硅片,密封性好等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“用于化學(xué)濕法單面減薄單晶硅片的模具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)