一種化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng),其包括蒸汽產(chǎn)生器,該蒸汽產(chǎn)生器具有:加熱元件,其對容器施加熱量以產(chǎn)生蒸汽;開口,其將蒸汽輸送至拋光墊上;第一閥,其在開口與容器之間的流體管線中;傳感器,其監(jiān)測蒸汽參數(shù);及控制系統(tǒng)??刂葡到y(tǒng)經(jīng)配置以:根據(jù)配方中的蒸汽輸送排程使閥打開及關(guān)閉;接收來自傳感器的蒸汽參數(shù)的測量值;接收蒸汽參數(shù)的目標(biāo)值;用目標(biāo)值及測量值作為輸入來執(zhí)行比例積分微分控制算法,從而控制第一閥和/或第二釋壓閥和/或加熱元件,以使得在根據(jù)蒸汽輸送排程打開閥之前測量值基本上到達(dá)目標(biāo)值。
聲明:
“控制化學(xué)機(jī)械拋光的蒸汽產(chǎn)生” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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