本實用新型涉及一種槽式
電化學(xué)沉積用藥液添加裝置,它包括:加液桶,所述加液桶內(nèi)設(shè)置有液位計;進液管路,所述進液管路的出口連接在所述加液桶底部;出液管路,所述出液管路的進口連接在所述加液桶底部,所述出液管路中設(shè)置有氣動閥,所述氣動閥的出液端設(shè)置有節(jié)流片。由于進液管路連接在加液桶底部,因此加液時不會沖液液面,不會影響液位計測量液位;且氣動閥的出端液設(shè)置有節(jié)流片,小流量補加進入槽體,可避免氣動閥直接開合而擠壓管道內(nèi)殘留的藥液繼續(xù)向槽內(nèi)補加,造成補加不準的問題。因此,提高了藥液加液精度。
聲明:
“槽式電化學(xué)沉積用藥液添加裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)