本發(fā)明提供了一種檢測(cè)晶圓邊緣洗邊效果的裝置。所述裝置包括:用于放置晶圓的晶圓架;用于探測(cè)晶圓是否存在的光敏傳感器;用于分辨晶圓邊緣有無(wú)銅薄膜的顏色分辨光敏傳感器;用于判斷晶圓邊緣洗邊工藝是否成功并通知監(jiān)測(cè)人員檢測(cè)結(jié)果的可編程邏輯控制單元。本發(fā)明還提供了一種檢測(cè)晶圓邊緣洗邊效果的方法:光敏傳感器發(fā)出探測(cè)光探測(cè)晶圓架上有無(wú)晶圓;顏色分辨光敏傳感器發(fā)射分辨光分辨晶圓邊緣有無(wú)銅薄膜,并發(fā)送分辨信號(hào);可編程邏輯控制單元接收并根據(jù)探測(cè)信號(hào)和分辨信號(hào)判斷晶圓邊緣洗邊是否成功,并報(bào)告判斷結(jié)果,從而避免了大量洗邊失敗的晶圓被送往后續(xù)的化學(xué)機(jī)械研磨工藝中,增加研磨難度。
聲明:
“檢測(cè)晶圓邊緣洗邊效果的裝置及方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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