本發(fā)明公開了一種植入式神經信息雙模檢測微電極陣列芯片及制備方法，涉及傳感器技術。該芯片包括硅針基底、呈陣列排布的多個微電極、對電極、電化學參比電極、電生理參比電極、引線、焊盤以及絕緣層。芯片采用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝加工制備。硅針前端部分可植入動物體內的神經組織，用于同時檢測神經電生理信號和神經遞質電化學信號，并兼有對神經組織施加電刺激的功能。本發(fā)明芯片功能集成化，適合急性或長期植入動物體內，開展神經信息的原位、同步雙模檢測及相關研究。