本發(fā)明一般地涉及化學(xué)和生物傳感器領(lǐng)域,以及特別涉及用于測(cè)量流體粘度和檢測(cè)流體中的微量化學(xué)物和生物制劑的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)傳感器。本發(fā)明的目標(biāo)是提供將利用遠(yuǎn)程感測(cè)在可置換套筒中工作的傳感器,所述遠(yuǎn)程感測(cè)可以測(cè)量功能化懸臂在液體環(huán)境和氣體環(huán)境中的動(dòng)態(tài)改變。
聲明:
“用于粘度和質(zhì)量檢測(cè)的小型化集成微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)光學(xué)傳感器陣列” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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