本公開涉及用于檢測何時(shí)微電子襯底不再被適當(dāng)?shù)毓潭ɑ蛘邚男D(zhuǎn)卡盤丟失的系統(tǒng)和方法。微電子襯底可以固定至旋轉(zhuǎn)卡盤,在處理室中的處理期間,當(dāng)將襯底暴露于化學(xué)物質(zhì)時(shí),旋轉(zhuǎn)卡盤可以使襯底旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)卡盤可以包括用于檢測固定微電子襯底的夾持機(jī)構(gòu)的位置的一個(gè)或更多個(gè)檢測器。檢測器可以生成與微電子襯底的位置相關(guān)的電信號。當(dāng)電信號超過閾值時(shí),系統(tǒng)可以使卡盤停止旋轉(zhuǎn)以防止對處理室的額外損壞。
聲明:
“檢測從旋轉(zhuǎn)卡盤丟失的晶片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)