本發(fā)明提供了一種激光直接成像設(shè)備圖形拼接誤差的檢測方法,其包括以下步驟:向激光直接成像設(shè)備輸入拼接誤差檢測圖形的,安裝并調(diào)試基板的,對基板進(jìn)行曝光成像,CCD圖像處理系統(tǒng)抓取左側(cè)圓心坐標(biāo),CCD圖像處理系統(tǒng)抓取右側(cè)圓心坐標(biāo),最后得到拼接誤差值。本發(fā)明通過空間光調(diào)制器成像在覆有感光干膜的基板上,通過激光直接成像設(shè)備自帶的CCD圖像處理系統(tǒng)分別抓取圖形拼接位置兩邊的圓心坐標(biāo),計算兩邊坐標(biāo)在X,Y方向的誤差,此誤差即為拼接誤差。此方法省去了化學(xué)顯影和顯微鏡測量步驟,極大的提高了檢測效率和準(zhǔn)確性。
聲明:
“激光直接成像設(shè)備圖形拼接誤差的檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)