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涂層檢查方法

760   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:20:09
披露了一種用于檢測(cè)化學(xué)氣相沉積(CVD)涂層中的間斷部的反射測(cè)量方法和其他方法。該方法包括幾個(gè)步驟。一個(gè)熱塑性容器壁(710)設(shè)置為具有一個(gè)外表面、一個(gè)內(nèi)表面、以及在該內(nèi)表面和該外表面中的至少一個(gè)上的一個(gè)CVD涂層。該容器壁和該CVD涂層具有不同的折射率。電磁能量(718)在有效引起能量從該CVD涂層的多個(gè)位置反射的條件下撞擊到該CVD涂層的多個(gè)位置上。對(duì)該反射能量進(jìn)行分析以確定該反射能量是否包括該CVD涂層中的一個(gè)間斷部的至少一個(gè)偽影。
聲明:
“涂層檢查方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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