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延長測試晶圓使用壽命的方法

830 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:25:17

本發(fā)明公開了延長測試晶圓使用壽命的方法，涉及集成電路制造工藝領域。該方法應用于電子束缺陷掃描儀抓取率檢測中，包括：提供一已被電子束缺陷掃描儀掃描后的測試晶圓，所述測試晶圓的表面形成有亞穩(wěn)態(tài)的化學鍵；采用離子溶液去除所述亞穩(wěn)態(tài)的化學鍵，所述離子溶液的PH值為：PH>8.5或PH<5.5。本發(fā)明通過將測試晶圓與離子溶液充分接觸，以修復由于電子束掃描對測試晶圓造成損壞，使測試晶圓夠長期有效的監(jiān)控電子束缺陷掃描儀抓取率，避免更換檢測晶圓帶來的多余的數(shù)據(jù)收集工作以及抓取率長期數(shù)據(jù)產生偏差，進而保證在線缺陷數(shù)據(jù)的可靠性與穩(wěn)定性，為大批量晶圓生成提供良率保障達到了提高晶圓使用壽命的目的。

聲明：

“延長測試晶圓使用壽命的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)