本發(fā)明公開一種諧振腔增強的單片集成傳感器及測量方法,傳感器包括諧振腔、二維材料層、電極、絕緣包層、耦合器、單色激光器、光電探測器、波導(dǎo)、絕緣層和襯底層;所述的絕緣包層和二維材料層從下到上依次位于諧振腔上方,所述的絕緣層和襯底層從上到下依次位于諧振腔下方,所述的波導(dǎo)與諧振腔位于同一層,且位于諧振腔的一側(cè);所述的電極設(shè)有兩個,其中一個位于波導(dǎo)上,另一個位于二維材料層上,所述的耦合器置于波導(dǎo)的兩端,所述的單色激光器和光電探測器分別連接耦合器。該傳感器能夠用于片上檢測生物化學分子引起的波導(dǎo)環(huán)境折射率變化或是用于片上檢測生物化學分子的吸收光譜。
聲明:
“諧振腔增強的單片集成傳感器及測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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