通過(guò)圖案化步驟、物理處理步驟和化學(xué)處理步驟的組合,在襯底上形成多層產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。檢查設(shè)備照射多個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)并捕獲表示由每個(gè)目標(biāo)結(jié)構(gòu)散射的輻射的角度分布的光瞳圖像(802)。目標(biāo)結(jié)構(gòu)具有相同的設(shè)計(jì),但是被形成在不同襯底上和/或在襯底上的不同位置處?;趫D像的比較(810),檢查設(shè)備推斷在所述不同位置之間的過(guò)程引起的堆疊變化的存在。在一個(gè)應(yīng)用中,檢查設(shè)備基于暗場(chǎng)圖像(840)并結(jié)合先前確定的校準(zhǔn)信息(842a,842b)分開測(cè)量制造過(guò)程的重疊性能(OV)。取決于從光瞳圖像推斷的堆疊變化,針對(duì)每個(gè)目標(biāo)調(diào)整校準(zhǔn)。
聲明:
“用于監(jiān)測(cè)制造過(guò)程的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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