一種實時觀測納米顆粒運動的實驗臺,由定位系統(tǒng)、運動加載系統(tǒng)、觀測系統(tǒng)和計算機四部分組成。定位系統(tǒng)可實現(xiàn)低精度的水平定位和高精度的垂直定位。運動加載系統(tǒng)可令拋光墊以設(shè)定的速度相對于固定的玻璃片旋轉(zhuǎn),并使拋光墊與玻璃片接觸擠壓,通過壓力傳感器測得壓力,壓力的大小由電控平移臺控制。觀測系統(tǒng)可以實時標(biāo)記和追蹤單個納米顆粒的位置和運動。本發(fā)明可模擬實際化學(xué)機械拋光工況,確定納米顆粒的運動規(guī)律,為深入理解化學(xué)機械拋光中顆粒的作用提供直接證據(jù),具有靈敏度高、測量精度高、穩(wěn)定性高的特點。
聲明:
“實時觀測納米顆粒運動的實驗臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)