本發(fā)明公開了一種側(cè)面進(jìn)光的雙臺形高速光探測器的連體式雙管芯;涉及一種光探測器;具體地說,涉及光探測器的管芯結(jié)構(gòu)。該管芯是在摻鐵的半絕緣半導(dǎo)體InP襯底1上,通過有機金屬化學(xué)汽相淀積技術(shù),沿著垂直方向逐次生長緩沖層2、下光波導(dǎo)層3、光吸收層4、上光波導(dǎo)層5、光限制層6和接觸層7;通過刻蝕技術(shù),使之形成孤島狀上、下兩個臺形部分;上臺形部分包括3至7層,其水平面為(半橢圓-矩形-半橢圓)形狀;下臺形部分是第2層,為矩形形狀。最后通過解理技術(shù),把連體式管芯分成2個側(cè)面進(jìn)光的光探測器管芯。該管芯具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、進(jìn)光平面解理容易、芯區(qū)面積可微調(diào)、組裝耦合方便、和共面波導(dǎo)連接兼容等特點。
聲明:
“側(cè)面進(jìn)光的雙臺形高速光探測器的連體式雙管芯” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)