本發(fā)明針對現(xiàn)有的熱絲化學(xué)氣相沉積(熱絲CVD)法金剛石膜沉積系統(tǒng)中襯底溫度測量不便或無法動態(tài)測量的問題,發(fā)明一種能實時連續(xù)測量襯底表面溫度分布的CVD系統(tǒng)襯底的無電刷測溫方法及裝置,其關(guān)鍵是將回轉(zhuǎn)式襯底工作臺改變?yōu)閿[動式工作臺,既保證襯底表面的溫度均勻性,又使得熱電偶測溫變得十分方便,改變傳統(tǒng)的熱電偶加電刷的結(jié)構(gòu),可對襯底表面溫度進行實時監(jiān)控。
聲明:
“CVD系統(tǒng)襯底的無電刷測溫方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)