描述了一種用于實(shí)時(shí)感測(cè)工業(yè)制造設(shè)備中的特性的裝置和方法。該感測(cè)系統(tǒng)包括：第一多個(gè)傳感器，該第一多個(gè)傳感器被安裝在半導(dǎo)體器件制造系統(tǒng)的加工環(huán)境內(nèi)，其中，每個(gè)傳感器被分配給不同的區(qū)域，以監(jiān)測(cè)該制造系統(tǒng)的所分配的區(qū)域的物理或化學(xué)特性；以及讀取器系統(tǒng)，該讀取器系統(tǒng)具有被配置成同時(shí)并以無線的方式詢問該多個(gè)傳感器的部件。該讀取器系統(tǒng)使用單一高頻詢問序列，該單一高頻詢問序列包括：(1)向該第一多個(gè)傳感器發(fā)送第一請(qǐng)求脈沖信號(hào)，該第一請(qǐng)求脈沖信號(hào)與第一頻帶相關(guān)聯(lián)，以及(2)接收來自該第一多個(gè)傳感器的唯一可識(shí)別的傳感器響應(yīng)信號(hào)，該第一多個(gè)傳感器提供對(duì)該系統(tǒng)的每個(gè)所分配的區(qū)域的物理或化學(xué)特性的變化的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。