本發(fā)明涉及一種用于制造包括基于氧化釩(VO
x)的敏感材料(15)的微測輻射熱計(10)的方法,所述敏感材料包括選自硼(B)、碳(C)的除氮(N)以外的至少一種附加化學元素,所述方法包括以下步驟:i.確定附加化學元素(B、C)的非零有效量,基于該有效量,在溫度T
r下經受暴露持續(xù)時間Δt
r的敏感材料(15)在環(huán)境溫度下的電阻率ρ
a|r大于或等于所述敏感材料(15)的固有值ρ
a的50%;ii.將所述敏感材料(15)制成薄層,其附加化學元素(B、C)的量大于或等于之前確定的有效量,所述敏感材料是非晶的,并且具有1至30Ω.cm的電阻率;iii.在小于或等于T
r的溫度下將所述敏感材料(15)暴露小于或等于Δt
r的持續(xù)時間。
聲明:
“用于制造包括基于氧化釩的敏感材料的微測輻射熱計的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)