亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 射頻串?dāng)_的測(cè)量方法、設(shè)備和系統(tǒng)

射頻串?dāng)_的測(cè)量方法、設(shè)備和系統(tǒng)

781   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:28:45
本發(fā)明公開了一種射頻串?dāng)_的測(cè)量方法、設(shè)備和系統(tǒng),主要內(nèi)容包括:通過調(diào)節(jié)等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積PECVD系統(tǒng)中射頻電極(包括陽極和陰極)的匹配網(wǎng)絡(luò)阻抗值,和/或者所述射頻電極的射頻能量發(fā)生設(shè)備的阻抗值,使所述匹配網(wǎng)絡(luò)阻抗值及所述射頻電極阻抗值之和與所述射頻能量發(fā)生設(shè)備的阻抗值相同,利用射頻電極與射頻能量發(fā)生設(shè)備之間能量傳遞的可逆性,測(cè)量所述射頻電極接收到的電信號(hào),根據(jù)測(cè)量得到的電信號(hào),確定所述射頻電極所受到的射頻串?dāng)_的能量,這樣對(duì)PECVD系統(tǒng)中射頻電極間產(chǎn)生的射頻串?dāng)_進(jìn)行定量測(cè)量,有利于根據(jù)測(cè)量結(jié)果排除該射頻串?dāng)_,增加PECVD系統(tǒng)中射頻電極的工作效率。
聲明:
“射頻串?dāng)_的測(cè)量方法、設(shè)備和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記