本發(fā)明公開了一種射頻串?dāng)_的測(cè)量方法、設(shè)備和系統(tǒng),主要內(nèi)容包括:通過調(diào)節(jié)等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積PECVD系統(tǒng)中射頻電極(包括陽極和陰極)的匹配網(wǎng)絡(luò)阻抗值,和/或者所述射頻電極的射頻能量發(fā)生設(shè)備的阻抗值,使所述匹配網(wǎng)絡(luò)阻抗值及所述射頻電極阻抗值之和與所述射頻能量發(fā)生設(shè)備的阻抗值相同,利用射頻電極與射頻能量發(fā)生設(shè)備之間能量傳遞的可逆性,測(cè)量所述射頻電極接收到的電信號(hào),根據(jù)測(cè)量得到的電信號(hào),確定所述射頻電極所受到的射頻串?dāng)_的能量,這樣對(duì)PECVD系統(tǒng)中射頻電極間產(chǎn)生的射頻串?dāng)_進(jìn)行定量測(cè)量,有利于根據(jù)測(cè)量結(jié)果排除該射頻串?dāng)_,增加PECVD系統(tǒng)中射頻電極的工作效率。
聲明:
“射頻串?dāng)_的測(cè)量方法、設(shè)備和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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