本發(fā)明涉及一種高硅拋光片表面貴金屬離子回收率測試方法，通過采用新型萃取液對高硅拋光片表面貴金屬離子萃取回收，提取貴金屬，萃取液由低濃度的硝酸和鹽酸配制而成，通過化學(xué)反應(yīng)實現(xiàn)萃取液對貴金屬元素的回收；采用新型萃取液，能夠解決原有萃取液對于硅拋光片表面貴金屬回收率低的問題，使鉑Pt、銀Ag、鈀Pd和金Au的回收率達到了70%以上，提高硅拋光片表面貴金屬測試的穩(wěn)定性，從而滿足對于硅拋光片表面貴金屬離子的測試要求。