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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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熱載流子注入型單像素光電探測器件、制備方法及系統(tǒng)

1077 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:29:09

本發(fā)明公開了熱載流子注入型單像素光電探測器件、制備方法及系統(tǒng)。所述方法包括：在襯底表面沉積金屬，并退火形成金屬納米顆粒；采用化學氣相沉積法在金屬納米顆粒表面形成二維半導體層，形成陡峭且具有清潔界面的金屬?半導體肖特基異質結；在所述半導體層上制備柵極、柵介質層、源級和漏極，得到所述熱載流子注入型單像素光電探測器件。本發(fā)明中形成了具有清潔界面的金屬?半導體肖特基異質結，在光照下，金屬納米顆粒的局域表面等離激元發(fā)生非輻射衰減產(chǎn)生熱載流子，越過金屬?半導體之間的肖特基勢壘注入半導體，實現(xiàn)熱載流子皮秒級別的超快傳輸和對入射光的超快響應；可實現(xiàn)超快響應速度、寬光譜、低成本的單像素光電成像。

聲明：

“熱載流子注入型單像素光電探測器件、制備方法及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)