本發(fā)明公布了一種微納米測量設(shè)備用高精度高靈敏彈性簧片的制作方法,其特征在于:采用化學(xué)蝕刻的方法制作高靈敏彈性簧片,包括設(shè)計(jì)圖案、菲林片打印、鈹銅片表面處理、貼覆感光膜、加固感光膜、曝光、顯影、腐蝕和脫膜九個(gè)步驟。本發(fā)明的制作方法與傳統(tǒng)方法相比,成本較低、方法簡單、易于實(shí)現(xiàn)、易于加工復(fù)雜圖案的彈性簧片;且采用本發(fā)明方法加工出的彈性簧片的性能參數(shù)(如圓度、直線度、邊緣粗糙度等參數(shù))優(yōu)于采用傳統(tǒng)方法加工出的彈性簧片。
聲明:
“微納米測量設(shè)備用高精度高靈敏彈性簧片的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)