本發(fā)明公開了一種介質(zhì)阻擋放電高效無害化降解SF6廢氣的確認(rèn)方法，該方法包括步驟：搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái)；獲取利用實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的DBD反應(yīng)器降解SF₆的放電參數(shù)和實(shí)驗(yàn)參數(shù)；對背景氣體和SF₆氣體進(jìn)行配氣；采用控制變量法，促使SF₆正向分解實(shí)驗(yàn)研究，得出分解SF₆的最優(yōu)條件；結(jié)合密度泛函理論和化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)分析SF₆氣體在放電降解下的化學(xué)反應(yīng)機(jī)理；建立介質(zhì)阻擋放電降解SF₆的物理模型，根據(jù)該物理模型的各種基本物理系數(shù)。本發(fā)明通過介質(zhì)阻擋放電降解SF₆系統(tǒng)對SF₆氣體進(jìn)行的充分降解，并通過分析檢測系統(tǒng)對SF₆降解后的產(chǎn)物進(jìn)行綜合檢測分析，獲得最佳的降解參數(shù)配置和降解設(shè)備配置，配置更加科學(xué)，降解能效更高。