一種用于電極的導(dǎo)電金剛石薄膜及其制備方法,主要適用
電化學(xué)分析和檢測時的電極。本發(fā)明的薄膜中含有硼為0.3%至0.5%,含碳量為99.5%至99.7%。采用微波增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積方法制備。制備過程中,選用硅作為基底,硅基底要經(jīng)過噴砂、清洗以及置入金剛石粉與酒精混合液中用超聲波作用等處理后放入沉積室內(nèi)。選用氫氣和甲烷的混合氣體為碳源的反應(yīng)氣體。選用1%的硼酸三甲酯和99%的氫氣的混合氣體為摻硼氣源。向沉積室內(nèi)發(fā)射頻率大于2GHz的微波,使沉積室內(nèi)氣體產(chǎn)生等離子體??刂粕鲜鰵庠吹牧魉俸蜕L時間,就可以獲得所要求的金剛石薄膜的含量和厚度。本發(fā)明的金剛石薄膜可直接用作電極,無需依附金屬基底,不怕腐蝕,化學(xué)、機(jī)械與導(dǎo)電性能均良好。
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“用于電極的導(dǎo)電金剛石薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)