亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 重?fù)缴橐r底上外延層過渡區(qū)的控制方法

重?fù)缴橐r底上外延層過渡區(qū)的控制方法

828   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:31:06
本發(fā)明公開了一種重?fù)缴橐r底上外延層過渡區(qū)的控制方法。本發(fā)明采用化學(xué)氣相沉積技術(shù),在N型重?fù)缴楣枰r底上分兩次生長輕摻的薄硅外延層。即生長完第一層本征外延層后,降至870-930℃取出,此期間通入HCL腐蝕基座除去記憶效應(yīng),腐蝕完成后,再把該片在870-930℃下裝爐,重新生長余下的外延層。經(jīng)用擴(kuò)展電阻分析儀對(duì)用常規(guī)方法和本發(fā)明的方法制得的外延層進(jìn)行檢驗(yàn)、比較,發(fā)現(xiàn)本發(fā)明所述方法制得的外延層過渡區(qū)陡峭,外延層的電阻率的均勻性很好。
聲明:
“重?fù)缴橐r底上外延層過渡區(qū)的控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記