一種復合分析物傳感器，其包括基底；微機電或納機電(MEMS；NEMS)諧振器，所述諧振器在該諧振器的至少兩個邊緣位置處被耦連到所述基底(即它至少是兩端固支)，其中所述諧振器在該諧振器的屈曲轉變點附近處于靜態(tài)屈曲狀態(tài)；以及覆蓋在諧振器的至少一部分表面上的化學反應物，該化學反應物當暴露于給定的分析物時發(fā)生會發(fā)生構象變化。所述諧振器可以是兩端固支的靜態(tài)屈曲梁(或橋)、多端固支的靜態(tài)屈曲圓頂(或火山口形)或者其他諧振器幾何形狀。所述傳感器可包括兩個或更多個至少兩端固支、靜態(tài)屈曲的復合MEMS或NEMS諧振器，每個諧振器均在相應諧振器的屈曲轉變點附近工作，并且每個傳感器的特征通過不同的諧振頻率來表征。一種感測周圍空氣中的分析物的方法。